3月8日晚間，上海新陽半導體發布公告，稱其購買的了ASML-1400光刻機設備已順利交付。4ZBesmc
上海新陽半導體材料股份有限公司(以下簡稱“公司”)自立項開發193nm ArF幹法光刻膠的研發及產業化項目以來，就安排購買了ASML-1400光刻機等核心設 備，並於2020年12月14日在《關於公司申請向特定對象發行股票的審核問詢函的 回複》中披露，該光刻機將於2020 年底前運抵國內。後由於公司與光刻機供應商、北方集成電路技術創新中心(北京)有限公司(以下簡稱“合作方”)溝通協調設備運輸與安裝等細節，致使設備沒能在規定時間內運達。4ZBesmc
現經各方積極協商、運作，該光刻機設備於今日已進入合作方北方集成電路技術創新中心(北京)有限公司場地，後續將進行安裝調試等相關工作。4ZBesmc
公司采購的ASM幹法光刻機設備順利交付，對加快193nm ArF 幹法光刻膠產品開發進度有積極影響，有利於進一步提升公司光刻膠產品的核心競爭力，加快落實公司發展戰略，提高公司抗風險能力和可持續發展能力。4ZBesmc
不過該光刻機尚須經過裝機、調試等相關環節，若相關環節出現工作疏漏或失誤則存在造成所購買的光刻機投入使用的過程較長甚至無法投入使用的風險。4ZBesmc
光刻膠研發項目技術壁壘高、周期長、至產業化並最終實現銷售利潤仍需一定時間，而公司購買的光刻機設備價格昂貴，其折舊及後續維護費用預計對公司的經營業績存在一定影響。4ZBesmc
